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技術(shù)資料

多用于觸控面板、觸摸屏、冷光片氧化銦錫(ITO)膜

時間:2023-07-14瀏覽次數(shù):1025
    作為納米銦錫金屬氧化物,具有很好的導(dǎo)電性和透明性,可以切斷對人體有害的電子輻射、紫外線及遠(yuǎn)紅外線。因此,銦錫氧化物通常噴涂在玻璃、塑料及電子顯示屏上,用作透明導(dǎo)電薄膜,同時減少對人體有害的電子輻射及紫外、紅外。

    在氧化物導(dǎo)電膜中,以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過率更高和導(dǎo)電性能更好,而且容易在酸液中蝕刻出細(xì)微的圖形,其中透光率達(dá)90%以上。ITO中其透光率和阻值分別由In2O3與SnO2之比例來控制,通常SnO2:In2O3=1:9。

    ITO膜層之電阻率一般在5*10E-4左右,更好可達(dá)5*10E-5,已接近金屬的電阻率,在實際應(yīng)用時,常以方塊電阻來表征ITO的導(dǎo)電性能,其透過率則可達(dá)90%以上,ITO膜之透過率和阻值分別由In2O3與SnO2之比例控制,增加氧化銦比例則可提高ITO之透過率,通常SnO2: In2O3=1:9,因為氧化錫之厚度超過200Å時,通常透明度已不夠好---雖然導(dǎo)電性能很好。

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    在高檔STN液晶顯示屏中所用ITO玻璃,其R□可達(dá)10Ω/□左右,膜厚為100-200nm,而一般低檔TN產(chǎn)品的ITO玻璃R□為100-300Ω/□,膜厚為20-30nm。

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