導(dǎo)電屏蔽膜是為了防止高壓場強(qiáng)對元件的干擾。導(dǎo)電屏蔽膜的設(shè)計原理是用屏蔽體來盡量減小干擾源和感受器之間的分布電容，從而減小干擾源對感受器的影響。導(dǎo)電屏蔽膜材料是各種用在熱源和散熱器之間的，通過排除熱源和散熱器之間的空氣，使得電子設(shè)備的熱量分散更均勻，加快散熱效率的材料。一般各種導(dǎo)熱界面材料需要具備好的導(dǎo)熱系數(shù)和表面潤濕性。

一、透明導(dǎo)電薄膜的種類有很多，但具有實(shí)際應(yīng)用價值的還是氧化物膜占主導(dǎo)地位，例如氧化銦錫薄膜（Indium-Tin-Oxide，簡稱為ITO薄膜），ITO透明導(dǎo)電薄膜是用物理或化學(xué)的方法在基體表面上沉積得到的，基體材料一般采用超薄玻璃，故又稱之為ITO透明導(dǎo)電薄膜玻璃。
ITO透明導(dǎo)電薄膜玻璃是國際上70年代初研制成功的一種新型材料，屬信息產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域廣泛使用的電氣、電子玻璃家族中的一員，在信息產(chǎn)業(yè)中有著重要的地位。透明導(dǎo)電薄膜玻璃作為平面顯示器行業(yè)的上游產(chǎn)品，其應(yīng)用面極廣，不但是LCD（液晶顯示器）中的關(guān)鍵組件，還可在其它高階平面顯示器中作為透明玻璃電極，并與民用消費(fèi)產(chǎn)品（諸如建材、汽車、電視等）息息相關(guān)，其工藝更可進(jìn)一步延伸為市場所需的任何導(dǎo)電玻璃的生產(chǎn)。

二、透明導(dǎo)電薄膜具有以下特性：
1、 導(dǎo)電性能好，電阻率可達(dá)10－4Ω﹒cm；
2、 硬度高、耐磨、耐化學(xué)腐蝕；
3、 加工性能好；
4、 可見光透過率高，可達(dá)85％以上；
5、 對紫外線具有良好的吸收性，吸收率不小于85％；
6、 對紅外線具有良好的反射性，反射率不小于80％；
7、 對微波具有衰減性，衰減率不小于85％。PART 02 透明導(dǎo)電薄膜玻璃的生產(chǎn)/PRODUCTION

三、生產(chǎn)工藝簡介
ITO透明導(dǎo)電薄膜玻璃的生產(chǎn)有三個必備條件，即：鍍膜設(shè)備、ITO靶材和透明超薄玻璃（0.4－1.3mm）。ITO透明導(dǎo)電薄膜制備是工藝的核心技術(shù)，它可以采用多種方法，主要有有磁控濺射法（直流磁控濺射和射頻磁控濺射）、真空蒸發(fā)法（電阻加熱或電于束加熱）、浸漬法、化學(xué)氣相沉積法、噴涂法等5種工藝。目前采用較廣的是直流磁控濺射法，用該工藝進(jìn)行連續(xù)鍍ITO膜層，具有膜層厚度均勻、易控制、膜重復(fù)性好、穩(wěn)定、適干連續(xù)生產(chǎn)、可鍍大面積、基片和靶相互位置可按理想設(shè)計任意放置、可在低溫下制取致密的薄膜層、可采用合金靶反應(yīng)濺射、也可采用氧化靶直接濺射等諸多優(yōu)點(diǎn)。該工藝適用干大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)，ITO透明導(dǎo)電薄膜玻璃質(zhì)量好，規(guī)格品種多，耗能低。

首先備好規(guī)定厚度尺寸的（0.4－1.3mm）超薄玻璃片，預(yù)處理經(jīng)去離于水洗、超聲波潔凈，進(jìn)入真空室后，先進(jìn)行SiO2鍍制，然后進(jìn)入ITO鍍膜室鍍制ITO膜，經(jīng)加熱固化退火后獲得成品。ITO導(dǎo)電膜玻璃全工藝過程均在高真空狀態(tài)下潔凈無塵通入Ar（氬）和O2（氧）氣體，經(jīng)過磁控濺射作用，在玻璃基片表面沉積氧化鋼錫薄膜及加熱退火后而制成。